大氣電漿設備介紹

韶陽科技於電漿技術的研發已經有一段時間，已經開發有單點式大氣電漿設備(附圖一)、寬幅式大氣電漿設備(附圖二與真空電漿洗淨機(附圖三)等，於客戶製造工廠運作，為因應客戶品質管制的需求，同時設計相關之量測儀器，如水滴角量測儀(附圖四)等，以提供客戶完整的電漿設備解決方案。

(附圖一)

大氣電漿(APS)由於不需真空設備，可直接搭配現有生產線進行運轉，無需對現有產線進行大幅度修改，而達到對加工物表面的清潔與改質的功用，提升產品的穩定性，因此受到廣泛的應用。韶陽科技所研發製造之大氣電漿設備，使用的氣體為一般的壓縮空氣，應用於平面顯示器產業之玻璃清潔，可由原先水滴接觸角40度以上，經電漿處理後將接觸角降低至10度以下，表面能提高至50dynes/cm，有效提升表面之潔淨度，對於後續製程如鍍膜、ACF貼附之可靠度與穩定性有很大的幫助。

(附圖二-遠端寬幅大氣電漿)

除了平面顯示器產業使用外，對於半導體或封裝材料之表面處理與活化，大氣電漿具有一定程度之效益。如應用於封裝前之BGA基板之處理，藉由電漿進行表面清潔處理，水滴角由原本60度降低到25度以下，有效提升表面之親水性，形成較高表面能的狀態，增加黏貼之強度，提升製程可靠度。

大氣電漿表面處理與改質，為相當環保的綠色製程，韶陽科技電漿技術團隊於此領域已累積有相當的經驗與成功案例。韶陽科技仍持續於電漿技術之研發創新，以提供各行業所需之電漿技術。韶陽科技亦接受客戶委託設計專用之電漿設備，以期擴大電漿之應用範圍，共創商機。

(附圖三-真空電漿清洗機)

(附圖四-桌上型水滴角量測儀)