單管大氣電漿MAPS-1 CDA 清潔測試影片

管型靜電消除器 實測影片

扇型靜電消除 實證影片

2012台灣平面顯示器展

台北世界貿易中心 南港展覽館1樓(台北市南港區經貿二路1號) 

展出時間：6月19日至21日 上午10時至下午5時30分

展出產品：IONIZER、PLASMA、US CLEAN、異形切割機、13吋貼片機

《全新改版》扇型靜電消除器

韶陽風扇型靜電消除器 MESD-FA05P 具有1.0 sec高速靜電消除速度，高精度、廣域性適用範圍，採用簡易控制面板，輕鬆調整風量大小，內建『異常放電偵測裝置』之安全設計，能輕易拆解放電針裝置，省時省成本。

靜電消除器系列

靜電在我們所生活的環境中無所不在，並對工業生產造成許多不良的影響，如：電子產品靜電擊穿、灰塵聚集、人員遭受輕微電極等問題，嚴重者甚至會產生工安危害。因此，工廠對於靜電問題無不審慎應對。

一般來說，靜電防護對策主要有三個原則：抑制、疏導、中和，常見的方法有：接地、增加濕度、使用抗靜電材質、降低摩擦速度及使用靜電消除器等，工廠應用的實務上主要是採用靜電消除器，利用高壓電產生帶電的離子，利用異性的電荷之間彼此會互相吸引而中和，使產品表面的電荷降到最低，不會產生靜電放電而降低對產品的危害。

韶陽科技長期致力於開發光電產業製程設備研發，提供客戶設備所需之完整解決方案，累積相當多的經驗，對於客戶所面對的靜電問題有著相同的感受。為能提供客戶優質的靜電消除方法，韶陽基於以往研發的經驗，進行設計開發，提供適合於光電產業之靜電消除器，產品系列完整，包含有離子風扇、靜電棒、噴嘴等，能對應工廠內各種不同製程的應用。

持續創新，創造價值，為客戶提供完整的設備解決方案，是我們一貫努力的目標。協助客戶提供靜電對策的解決方案，降低產線的靜電的問題，是我們服務產業的宗旨。

大氣電漿設備介紹

韶陽科技於電漿技術的研發已經有一段時間，已經開發有單點式大氣電漿設備(附圖一)、寬幅式大氣電漿設備(附圖二與真空電漿洗淨機(附圖三)等，於客戶製造工廠運作，為因應客戶品質管制的需求，同時設計相關之量測儀器，如水滴角量測儀(附圖四)等，以提供客戶完整的電漿設備解決方案。

(附圖一)

大氣電漿(APS)由於不需真空設備，可直接搭配現有生產線進行運轉，無需對現有產線進行大幅度修改，而達到對加工物表面的清潔與改質的功用，提升產品的穩定性，因此受到廣泛的應用。韶陽科技所研發製造之大氣電漿設備，使用的氣體為一般的壓縮空氣，應用於平面顯示器產業之玻璃清潔，可由原先水滴接觸角40度以上，經電漿處理後將接觸角降低至10度以下，表面能提高至50dynes/cm，有效提升表面之潔淨度，對於後續製程如鍍膜、ACF貼附之可靠度與穩定性有很大的幫助。

(附圖二-遠端寬幅大氣電漿)

除了平面顯示器產業使用外，對於半導體或封裝材料之表面處理與活化，大氣電漿具有一定程度之效益。如應用於封裝前之BGA基板之處理，藉由電漿進行表面清潔處理，水滴角由原本60度降低到25度以下，有效提升表面之親水性，形成較高表面能的狀態，增加黏貼之強度，提升製程可靠度。

大氣電漿表面處理與改質，為相當環保的綠色製程，韶陽科技電漿技術團隊於此領域已累積有相當的經驗與成功案例。韶陽科技仍持續於電漿技術之研發創新，以提供各行業所需之電漿技術。韶陽科技亦接受客戶委託設計專用之電漿設備，以期擴大電漿之應用範圍，共創商機。

(附圖三-真空電漿清洗機)

(附圖四-桌上型水滴角量測儀)

韶陽科技─大面積常壓電漿開發科專計劃，獲頒經濟部最佳產學合作獎